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该工艺为实现复杂、计算高密度、多层弹性电路的晶片级制造提供了一条途径,其性能可与刚性电路相媲美。尽管聚合物材料的溶液加工以较低的生产成本(如丝网或喷墨打印)轻松制造,产业但这些是具有数百微米空间分辨率的低密度图案技术。
但是,落地传统的光刻技术不能适应聚合电子材料(如半导体和导体)的微/纳米加工,因为光刻技术中使用的光刻胶与活性聚合电子材料缺乏化学正交性。相对于传统的刚性电子器件(如硅基器件),有声弹性电子器件由于器件密度低,目前在并行信号记录和处理方面受到限制。 【图文导读】图1 用于高密度弹性电路的单片光学微光刻图2双网络介导的导电聚合物的直接光学光刻技术图3 卡本介导的半导体和绝缘聚合物的直接光学光刻技术 图4 单片光学微光刻制造的高密度、划启高度均匀的弹性晶体管阵列 图5 弹性功能电路文献链接:划启Monolithicopticalmicrolithographyofhigh-densityelasticcircuits(Science,2021,DOI:10.1126/science.abh3551)本文由木文韬翻译,材料牛整理编辑。
计算相关成果以题为Monolithicopticalmicrolithographyofhigh-densityelasticcircuits发表在了Science。然而,产业制造密集电路的主要限制是缺乏聚合物电子材料的可扩展图形化方法,产业尤其是将柔性和弹性电子材料微/纳米图案化成复杂、高密度、多层功能器件和电路的方法。
团队利用了高分子材料的后功能化特性和传统光刻技术的优点,落地包括高空间分辨率和每个图案元素的低成本。
【成果简介】今日,有声在美国斯坦福大学鲍哲南教授团队等人带领下,有声提出了一种单片光学微光刻工艺,该工艺通过连续紫外光触发的溶解度调制,直接形成一组弹性电子材料的微图案。渠道布局开启体验式新零售星港家居历来重视渠道布局,划启其投入的力度赶超行业内众多知名品牌。
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